L'espansione della produzione in carburo di silicio guida il rapido sviluppo di attrezzature speciali

Jul 28,2022

I dispositivi di alimentazione in carburo di silicio stanno accelerando la penetrazione nei settori automobilistici e altri campi di applicazione, mostrando enormi spazio di mercato e attirando vari produttori per aumentare l'espansione della produzione. Dopo che la prima linea da 8 pollici di Wolfspeed è stata messa in produzione, Bosch Group, Rohm, Infineon, Toshiba è stata recentemente annunciata l'espansione e la nuova costruzione di linee di produzione in carburo di silicio.

Rispetto alle tradizionali linee di produzione del wafer di silicio, il processo di produzione in carburo di silicio porta diverse richieste sulle attrezzature.

GIUSEPPE ARENA, direttore del progetto di dispositivo di alimentazione automobilistico di STMicroelectronics, ha affermato che a causa delle unici proprietà fisiche e chimiche dei materiali a banda larga, il processo di produzione in carburo di silicio è abbastanza diverso dai tradizionali dispositivi di alimentazione a base di silicio in crescita epitassiale, impianto ionico, e ricottura ad alta temperatura. Moduli come camere speciali sono progettati per controllare i difetti e migliorare la produttività. Sono necessari anche strumenti speciali in attacco, diradamento e altri collegamenti.

Man mano che il processo e le attrezzature maturano, alcune aziende IDM stanno pensando di trasformare la linea di produzione di wafer di silicio da 6 pollici obsoleta in una linea di produzione in carburo di silicio. Gli esperti del settore stimano che necessiti solo di 20 milioni di dollari di investimenti per adeguare il processo e acquistare una piccola quantità di attrezzature speciali. Questo tipo di trasformazione della linea di produzione può essere completato.

Al momento, la divisione del lavoro e della specializzazione ha iniziato ad apparire in questo campo e aziende come X-Fab hanno già messo piede nel settore della fonderia in carburo di silicio.

Clas-Sic, situato in Scozia, nel Regno Unito, gestisce una linea di produzione di fonderia in carburo di silicio da 6 pollici. Il 10-15% della linea di produzione è attrezzatura dedicata al carburo di silicio e la maggior parte delle attrezzature rimanenti viene rinnovata dalle linee di produzione del wafer di silicio. La società è responsabile secondo Rae Hyndman, l'industria del carburo di silicio deve anche affrontare colli di bottiglia di consegna quando si acquistano attrezzature di seconda mano.

Il mercato del carburo di silicio è promettente e attira anche i produttori di attrezzature per aumentare gli investimenti in questo campo. David Haynes, un esperto tecnico di Fanlin, ha affermato che la sfida comune affrontata dalle attrezzature sviluppate per i processi di wafer di silicio durante l'elaborazione di substrati in carburo di silicio è quest'ultimo. Quasi trasparente nelle regioni visibili e del vicino infrarosso, il modulo di rilevamento deve essere ottimizzato.

Un altro gigante delle attrezzature, materiali applicati, ha anche lanciato una serie di attrezzature speciali in carburo di silicio. Si dice che la sua attrezzatura CMP progettata per le speciali proprietà fisiche e chimiche del carburo di silicio riduce in modo significativo i difetti superficiali dei wafer in carburo di silicio, secondo Sally Ann Henry, direttore dello sviluppo aziendale della Shengmei Company. Ha affermato che l'attuale mercato delle attrezzature speciali in carburo di silicio è ancora nella fase iniziale dello sviluppo e la maggior parte degli IDM gestisce ancora linee di produzione da 6 pollici. (Strumenti di ponte) sarà molto attraente. Tale attrezzatura può essere introdotta prima nella linea di produzione da 6 pollici. Poiché è dotato del modulo di rilevamento più avanzato, può adattarsi rapidamente alla futura linea di produzione da 8 pollici dopo aver sostituito i moduli del dispositivo, del caricamento e dello scarico. Filo.